· 马程鹏;赵福云;姚奕合;

为对比分析定风速、正弦式和脉冲式3种不同送风条件下静态电子洁净室的排污性能，选择在恒定风量的条件下，使用CFD的瞬态计算方法来模拟3种送风方式下洁净室内的颗粒物分布，探讨不同送风方式对于电子洁净室排污性能的影响。结果表明，周期性送风下洁净室内的气流流动更为均匀，颗粒物与气流组织混合效果更好，脉冲式送风室内颗粒物分布最理想。脉冲式送风下，室内总体排污效率E_T最大，是定风速送风条件下E_T最大值的136.32%,是正弦式送风的124.72%。脉冲式送风相比定风速送风的自净时间减少了52.51%,较正弦式送风降低了25.10%。总体而言，脉冲式送风方式在提高洁净室的排污性能方面显示出明显的优势，具有更高的排污效率和更短的自净时间。

· 2025年01期 v.22;No.101 88-97页 [查看摘要][在线阅读][下载 1235K]